LGS-FB-600-2600全自動半片激光劃片機
Half cell Automatic laser scribing&breaking Machine
1.2 工藝參數
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工
藝
參
數 |
類別 |
項目 |
參數 |
備注 |
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激光器 |
波長(nm) |
1064 |
激光器3年故障換新 |
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工作功率 |
30~90% 的額定功率 |
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頻率(KHZ) |
40~150(可調) |
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脈沖長度(ns) |
50~250 |
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激光器品牌 |
中科院訂制劃片專用 |
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激光壽命(h） |
20000 |
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電池規格 |
尺寸 |
156.5±3mm ( 單多晶 ) |
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厚度 |
0.15~0.3mm |
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同批電池厚度差 |
±20um |
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劃片工藝參數要求 |
劃片角度/精度 |
80~90 度/ ±80um |
采用500萬巴斯勒相機12焦距鏡頭 |
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劃片深度 |
0~100%(可調) |
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劃片深度均勻性 |
±10 um |
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線寬(um) |
≤35 |
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熱影響區域(um) |
單晶≤80
多晶≤100 |
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劃片后外觀質量 |
隱裂/破片/V型缺角/劃傷等≤0.1% |
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