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工

藝

參

數(shù)

類別

項(xiàng)目

參數(shù)

備注

激光器

波長(zhǎng)(nm)

1064

激光器3年故障換新

工作功率

30~90% 的額定功率

頻率(KHZ)

40~150(可調(diào))

脈沖長(zhǎng)度(ns)

50~250

激光器品牌

中科院訂制劃片專用

激光壽命(h）

20000

電池規(guī)格

尺寸

156.5±3mm ( 單多晶 )

厚度

0.15~0.3mm

同批電池厚度差

±20um

劃片工藝參數(shù)要求

劃片角度/精度

80~90 度/ ±80um

采用500萬(wàn)巴斯勒相機(jī)12焦距鏡頭

劃片深度

0~100%(可調(diào))

劃片深度均勻性

±10 um

線寬(um)

≤35

熱影響區(qū)域(um)

單晶≤80

多晶≤100

劃片后外觀質(zhì)量

隱裂/破片/V型缺角/劃傷等≤0.1%